[发明专利]一种加热炉及其工作方法在审
| 申请号： | 202111441623.9 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN113970249A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 黄占超;郑清忠 | 申请（专利权）人： | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;上海先方半导体有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D17/00;F27D19/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 麻雪梅 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加热炉及其工作方法，加热炉包括：炉腔；设置在所述炉腔外侧的炉套层，所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙；与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置，所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。炉套层和腔壁之间的间隙为介质提供了流通空间，通过设置与间隙连通的多通切换装置，使加热炉在升温过程、保温过程和降温过程中，可以通过多通切换装置向间隙通入一种介质或者多种介质，提高了加热炉在升温过程中的升温效率，减少了加热炉在保温过程中的热量损失，提高了加热炉在降温过程中的降温效率，因此，节省了加热炉的能量，提高了加热炉的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热炉 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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