[发明专利]一种加热炉及其工作方法在审
| 申请号: | 202111441623.9 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN113970249A | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
| 发明(设计)人: | 黄占超;郑清忠 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;上海先方半导体有限公司 |
| 主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D17/00;F27D19/00 |
| 代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 麻雪梅 |
| 地址: | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 加热炉 及其 工作 方法 | ||
本发明提供一种加热炉及其工作方法,加热炉包括:炉腔;设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。炉套层和腔壁之间的间隙为介质提供了流通空间,通过设置与间隙连通的多通切换装置,使加热炉在升温过程、保温过程和降温过程中,可以通过多通切换装置向间隙通入一种介质或者多种介质,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率,因此,节省了加热炉的能量,提高了加热炉的产能。
技术领域
本发明涉及炉体领域,具体涉及一种加热炉及其工作方法。
背景技术
加热炉被广泛应用在有机液体溶剂、薄膜等脱泡或者固化的邻域中。加热炉在使用过程中需要进行升温和降温步骤。
现有技术提供的加热炉通过在炉壁的外侧通冷却气体以此来提高加热炉在降温时的降温效率,或者,在炉壁的外侧设置管道,通过往管道通冷却液体以此来提高加热炉在降温时的降温效率,然而,此类降温方式存在降温方式单一、降温效率不高的缺点,同时加热炉在升温和保温时也存在热量散失的问题,加热炉的升降温效率较低,降低了加热炉的产能。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中加热炉升降温的效率有待提高的问题,从而提供一种加热炉及其工作方法。
本发明提供一种加热炉,包括:炉腔;设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。
可选的,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路。
可选的,所述多通切换装置还包括:设置在所述第一接口上的第一阀门;设置在所述第二接口上的第二阀门;设置在所述第三接口上的第三阀门。
可选的,所述第一阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第二阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第三阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀。
可选的,所述间隙包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口和所述第二接口连通,所述第二间隙与所述第三接口连通。
可选的,所述间隙为一体式间隙。
可选的,所述腔壁的材料包括不锈钢或者碳钢,所述炉套层的材料包括不锈钢或者碳钢。
可选的,所述炉套层与所述腔壁之间的间隙的尺寸为1㎜~400㎜。
可选的,所述炉腔还包括与所述腔壁连接的炉门;所述炉套层覆盖全部所述腔壁,或者,所述炉套层覆盖部分所述腔壁。
可选的,还包括:与所述间隙连通的套层出口管;设置在所述套层出口管上的出口阀门。
可选的,还包括:设置在所述炉套层外表面的保温层。
可选的,还包括:设置在所述炉腔内部的加热器。
本发明还提供一种加热炉的工作方法,采用本发明提供的加热炉,包括:在所述炉腔的升温过程、保温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置给所述间隙提供不同介质。
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