[发明专利]一种加热炉及其工作方法在审
| 申请号: | 202111441623.9 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN113970249A | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
| 发明(设计)人: | 黄占超;郑清忠 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;上海先方半导体有限公司 |
| 主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D17/00;F27D19/00 |
| 代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 麻雪梅 |
| 地址: | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 加热炉 及其 工作 方法 | ||
1.一种加热炉,其特征在于,包括:
炉腔;
设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;
与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。
2.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;
所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路。
3.根据权利要求2所述的加热炉,其特征在于,所述多通切换装置还包括:设置在所述第一接口上的第一阀门;设置在所述第二接口上的第二阀门;设置在所述第三接口上的第三阀门。
4.根据权利要求3所述的加热炉,其特征在于,所述第一阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第二阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第三阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀。
5.根据权利要求2所述的加热炉,其特征在于,所述间隙包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口和所述第二接口连通,所述第二间隙与所述第三接口连通。
6.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述间隙为一体式间隙。
7.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述腔壁的材料包括不锈钢或者碳钢,所述炉套层的材料包括不锈钢或者碳钢。
8.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉套层与所述腔壁之间的间隙的尺寸为1㎜~400㎜。
9.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉腔还包括与所述腔壁连接的炉门;
所述炉套层覆盖全部所述腔壁,或者,所述炉套层覆盖部分所述腔壁。
10.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:与所述间隙连通的套层出口管;设置在所述套层出口管上的出口阀门。
11.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:设置在所述炉套层外表面的保温层。
12.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:设置在所述炉腔内部的加热器。
13.一种加热炉的工作方法,采用如权利要求1至12任意一项所述的加热炉,其特征在于,包括:
在所述炉腔的升温过程、保温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置给所述间隙提供不同介质。
14.根据权利要求13所述的加热炉的工作方法,其特征在于,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路;所述加热炉还包括:与所述间隙连通的套层出口管;
当所述第一接口打开时,所述套层出口管关闭;
当所述第二接口打开时,所述套层出口管打开;
当所述第三接口打开时,所述套层出口管打开。
15.根据权利要求14所述的加热炉的工作方法,其特征在于,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第二接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管关闭,通过所述第一接口对所述间隙抽真空;
或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述间隙通入热气体;
或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第二接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口对所述间隙通入热液体。
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