[发明专利]一种加热炉及其工作方法在审

专利信息
申请号: 202111441623.9 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN113970249A 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 黄占超;郑清忠 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;上海先方半导体有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D17/00;F27D19/00
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 麻雪梅
地址: 214135 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 加热炉 及其 工作 方法
【权利要求书】:

1.一种加热炉,其特征在于,包括:

炉腔;

设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;

与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。

2.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;

所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路。

3.根据权利要求2所述的加热炉,其特征在于,所述多通切换装置还包括:设置在所述第一接口上的第一阀门;设置在所述第二接口上的第二阀门;设置在所述第三接口上的第三阀门。

4.根据权利要求3所述的加热炉,其特征在于,所述第一阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第二阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第三阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀。

5.根据权利要求2所述的加热炉,其特征在于,所述间隙包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口和所述第二接口连通,所述第二间隙与所述第三接口连通。

6.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述间隙为一体式间隙。

7.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述腔壁的材料包括不锈钢或者碳钢,所述炉套层的材料包括不锈钢或者碳钢。

8.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉套层与所述腔壁之间的间隙的尺寸为1㎜~400㎜。

9.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉腔还包括与所述腔壁连接的炉门;

所述炉套层覆盖全部所述腔壁,或者,所述炉套层覆盖部分所述腔壁。

10.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:与所述间隙连通的套层出口管;设置在所述套层出口管上的出口阀门。

11.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:设置在所述炉套层外表面的保温层。

12.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:设置在所述炉腔内部的加热器。

13.一种加热炉的工作方法,采用如权利要求1至12任意一项所述的加热炉,其特征在于,包括:

在所述炉腔的升温过程、保温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置给所述间隙提供不同介质。

14.根据权利要求13所述的加热炉的工作方法,其特征在于,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路;所述加热炉还包括:与所述间隙连通的套层出口管;

当所述第一接口打开时,所述套层出口管关闭;

当所述第二接口打开时,所述套层出口管打开;

当所述第三接口打开时,所述套层出口管打开。

15.根据权利要求14所述的加热炉的工作方法,其特征在于,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第二接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管关闭,通过所述第一接口对所述间隙抽真空;

或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述间隙通入热气体;

或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第二接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口对所述间隙通入热液体。

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