[发明专利]在干气体环境中测试对象的装置及方法在审
| 申请号： | 202111439121.2 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114660430A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 刘潭;金在显;李先味;权贤民;李相骏 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 纪雯 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测试对象的装置可以包括：测试室、第一室、第二室和供气模块。所述测试室容纳用于测试对象的测试板。所述第一室在所述测试室下方并容纳所述测试板的下表面。所述第二室围绕所述第一室，以使所述第一室与环境气体隔离。所述供气模块向所述第二室供应干气体，以提供高于环境压力的正压，从而防止环境气体渗入所述第一室。因此，在低温下测试所述对象期间，所述第二室可以防止潮湿环境气体渗入所述第一室，以防止水在所述测试板的下表面上的冷凝。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 环境 测试 对象 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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