[发明专利]在干气体环境中测试对象的装置及方法

权利要求书

1.一种用于测试对象的装置，所述装置包括：

测试室；

用于测试对象的测试板，所述测试板设置在所述测试室中；

第一室，与所述测试室相邻，其中所述测试板的下表面被暴露到所述第一室；

第二室，至少部分地围绕所述第一室并将所述第一室与环境空气隔离；以及

供气模块，向所述第二室供应干气体并向所述第二室提供高于环境压力的正压，从而防止所述环境空气渗入所述第一室。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述供气模块包括：

压缩机，被配置为生成干气体；

第一气体管线，连接在所述压缩机与所述第一室之间；以及

第一阀，设置在所述第一气体管线处，并被配置为控制向所述第一室供应干气体。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述第一气体管线包括以均匀的距离彼此分隔开的多条管线。

4.根据权利要求2所述的装置，其中，所述供气模块还包括：

第一湿度传感器，设置在所述第一室中，并被配置为测量所述第一室中的第一湿度；以及

第一控制器，被配置为根据由所述第一湿度传感器测量的所述第一室中的所述第一湿度，控制所述第一阀的操作。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述第一湿度传感器设置在所述测试板的下表面上。

6.根据权利要求2所述的装置，其中，所述供气模块还包括：

第二气体管线，连接在所述压缩机与所述第二室之间；以及

第二阀，设置在所述第二气体管线处，并被配置为控制向所述第二室供应干气体。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述第二气体管线包括以一距离彼此分隔开的多条管线。

8.根据权利要求6所述的装置，其中，所述供气模块还包括：

第二湿度传感器，设置在所述第二室中，并被配置为测量所述第二室中的第二湿度；以及

第二控制器，配置为根据由所述第二湿度传感器测量的所述第二室中的所述第二湿度，控制所述第二阀的操作。

9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一室具有与所述测试室的下表面接触的上端，并且所述第二室具有与所述测试室的下表面接触的上端。

10.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二室的体积小于所述第一室的体积。

11.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二室的壁厚度比所述第一室的壁厚度大。

12.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一室和所述第二室均包括绝热材料。

13.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一室和所述第二室均具有双管结构。

14.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一室具有第一孔，且所述第二室具有第二孔，其中与所述测试板相连的线缆穿过所述第一孔，且所述线缆穿过所述第二孔。

15.根据权利要求14所述的装置，还包括：

第一密封垫，设置在所述第一孔的内表面与所述线缆之间；以及

第二密封垫，设置在所述第二孔的内表面与所述线缆之间。

16.根据权利要求1所述的装置，还包括：温度传感器，设置在所述测试室中并被配置为测量所述测试室的内部温度。

17.根据权利要求1所述的装置，还包括：温度控制器，设置在所述测试室中并控制所述测试室的测试温度。