[发明专利]单片晶圆药液回收装置及方法在审
| 申请号： | 202111437308.9 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114130782A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞昕 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/04 | 分类号： | B08B15/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单片晶圆药液回收装置及方法，该药液回收装置包括由外向内分布的多层药液回收盘，次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，且底层药液回收盘的宽度大于次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙；顶层至次底层药液回收盘为药液循环再利用回收盘，用于在每层中回收一种药液；底层药液回收盘为废液回收盘，用于回收在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液。本发明能够防止晶圆在低速旋转时药液回收发生混合串液及药液滴落至回收盘之外造成环境污染的问题，具有保持刻蚀速率稳定的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 药液 回收 装置 方法 | ||
【主权项】：
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