[发明专利]单片晶圆药液回收装置及方法

说明书

本发明提供一种单片晶圆药液回收装置及方法，该药液回收装置包括由外向内分布的多层药液回收盘，次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，且底层药液回收盘的宽度大于次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙；顶层至次底层药液回收盘为药液循环再利用回收盘，用于在每层中回收一种药液；底层药液回收盘为废液回收盘，用于回收在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液。本发明能够防止晶圆在低速旋转时药液回收发生混合串液及药液滴落至回收盘之外造成环境污染的问题，具有保持刻蚀速率稳定的效果。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路技术领域，特别涉及一种单片晶圆药液回收装置及方法。

背景技术

在单片晶圆处理时，晶圆在旋转台上旋转，药液注入到晶圆上之后，旋转台带动晶圆旋转，则喷涂在晶圆上药液通过可动的多层药液回收盘的某一层进行回收及排出。但是在旋转台带动晶圆低速旋转时，晶圆低速旋转时在晶圆上的药液在旋转力的作用下产生飞溅，飞溅的药液会流入到多层药液回收盘的非指定层，很容易流入到位于最下层的药液回收盘之内，从而导致位于最下层的药液回收盘回收的药液出现药液混合的串液现象，从而影响药液的回收再利用及对晶圆的刻蚀速率。另外，晶圆低速旋转时在晶圆上的药液可能由于旋转力动力不足而未到达药液回收盘时就被产生滴落在旋转台与药液回收盘之间的空隙之内，从而造成了环境污染的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供了一种单片晶圆药液回收装置及方法，以解决单片晶圆在注入药液时，传统多层单片晶圆药液回收装置在晶圆低速旋转时产生药液混合回收串液的问题。

为达到上述目的，本发明提供一种单片晶圆药液回收装置，包括同轴心设置的多层药液回收盘，所述多层药液回收盘包括由外向内分布的顶层至底层药液回收盘；所述多层药液回收盘的次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；所述底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，且所述底层药液回收盘的宽度大于所述次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙；所述顶层至次底层药液回收盘为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘中的每层药液回收盘用于回收一种药液；所述底层药液回收盘为废液回收盘，用于在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液回收至所述废液回收盘中。

进一步的，本发明提供的单片晶圆药液回收装置，所述顶层至底层药液回收盘均连通有回收管道。

进一步的，本发明提供的单片晶圆药液回收装置，所述回收管道上连接有管道阀门。

进一步的，本发明提供的单片晶圆药液回收装置，所述回收管道为硬质管道或者软质管道。

进一步的，本发明提供的单片晶圆药液回收装置，所述多层药液回收盘包括上下移动机构，以用于在不同药液注入到晶圆时切换顶层至次底层中的某一层药液回收盘。

进一步的，本发明提供的单片晶圆药液回收装置，所述多层药液回收盘为三层以上。

进一步的，本发明提供的单片晶圆药液回收装置，所述单片晶圆旋转台包括旋转轴及其相连的旋转平台。

进一步的，本发明提供的单片晶圆药液回收装置，所述单片晶圆旋转台还包括：位于所述旋转平台上方间隔设置有药液注入管道。

为达到上述目的，本发明还提供一种单片晶圆药液回收方法，包括：

设置同轴心的多层药液回收盘，使所述多层药液回收盘的顶层至底层药液回收盘由外向内分布；

将多层药液回收盘的次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；

将底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，同时将底层药液回收盘的宽度大于次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙设置；

将顶层至次底层药液回收盘作为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘中的每层药液回收盘用于回收一种药液；