[发明专利]单片晶圆药液回收装置及方法在审
| 申请号： | 202111437308.9 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114130782A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞昕 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/04 | 分类号： | B08B15/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单片 药液 回收 装置 方法 | ||
1.一种单片晶圆药液回收装置，其特征在于，包括同轴心设置的多层药液回收盘，所述多层药液回收盘包括由外向内分布的顶层至底层药液回收盘；
所述多层药液回收盘的次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；
所述底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，且所述底层药液回收盘的宽度大于所述次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙；
所述顶层至次底层药液回收盘为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘中的每层药液回收盘用于回收一种药液；
所述底层药液回收盘为废液回收盘，用于在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液回收至所述废液回收盘中。
2.如权利要求1所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述顶层至底层药液回收盘均连通有回收管道。
3.如权利要求2所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述回收管道上连接有管道阀门。
4.如权利要求2所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述回收管道为硬质管道或者软质管道。
5.如权利要求1所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述多层药液回收盘包括上下移动机构，以用于在不同药液注入到晶圆时切换顶层至次底层中的某一层药液回收盘。
6.如权利要求1所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述多层药液回收盘为三层以上。
7.如权利要求1所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述单片晶圆旋转台包括旋转轴及其相连的旋转平台。
8.如权利要求7所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述单片晶圆旋转台还包括：位于所述旋转平台上方间隔设置有药液注入管道。
9.一种单片晶圆药液回收方法，其特征在于，包括：
设置同轴心的多层药液回收盘，使所述多层药液回收盘的顶层至底层药液回收盘由外向内分布；
将多层药液回收盘的次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；
将底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，同时将底层药液回收盘的宽度大于次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙设置；
将顶层至次底层药液回收盘作为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘中的每层药液回收盘用于回收一种药液；
将底层药液回收盘作为废液回收盘，用于在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液回收至所述废液回收盘中。
10.如权利要求9所述的单片晶圆药液回收方法，其特征在于，所述多层液回收盘为三层以上。
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