[发明专利]一种调校装置及其调校方法在审
| 申请号： | 202111428098.7 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114114603A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王朋辉;李璟;陈进新;卢增雄;马敬;齐威 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B7/18 | 分类号： | G02B7/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种调校装置，包括：底座；棱镜定位模块，设置于底座上，包括：下棱镜定位模块和上棱镜定位模块，其中，下棱镜定位模块用于将下棱镜进行定位，并使下棱镜的胶合面保持水平状态；上棱镜定位模块用于将上棱镜定位，并使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面贴合。本公开还提供了一种调校方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调校 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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