[发明专利]一种调校装置及其调校方法在审

专利信息
申请号: 202111428098.7 申请日: 2021-11-26
公开(公告)号: CN114114603A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 王朋辉;李璟;陈进新;卢增雄;马敬;齐威 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B7/18 分类号: G02B7/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 王文思
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 调校 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种调校装置,其特征在于,包括:

底座(10);以及

棱镜定位模块(20),设置于所述底座(10)上,包括:下棱镜定位模块(21)和上棱镜定位模块(22),其中,

所述下棱镜定位模块(21)用于将下棱镜进行定位,并使所述下棱镜的胶合面保持水平状态;

所述上棱镜定位模块(22)用于将上棱镜定位,并使所述上棱镜的胶合面与所述下棱镜的胶合面贴合。

2.根据权利要求1所述的调校装置,其特征在于,所述下棱镜定位模块(21)包括:

定位架(211),位于所述底座(10)上,其中,所述下棱镜位于所述定位架(211)的凹槽内;

多个下棱镜定位块(212),位于所述定位架(211)上,用于将所述下棱镜进行定位及夹紧;以及

下棱镜压块(213),位于所述定位架(211)上,用于在所述下棱镜被所述多个下棱镜定位块(212)定位及夹紧之后,压紧所述下棱镜,使所述下棱镜位置固定。

3.根据权利要求1所述的调校装置,其特征在于,所述上棱镜定位模块(22)包括:

上棱镜初始定位模块,位于所述下棱镜定位模块(21)上,用于对所述上棱镜进行初始位置定位;以及

上棱镜位置调整模块(222),位于所述底座(10)上,包括:夹持机构(2221)、位于所述底座(10)上的调整位移台(2222)及配重(2223),其中,所述夹持机构(2221)位于所述调整位移台(2222)上,所述夹持机构(2221)一端用于夹持所述上棱镜,其另一端与所述配重(2223)连接;其中,所述调整位移台(2222)用于驱动所述夹持机构(2221),以调整所述上棱镜的位置。

4.根据权利要求3所述的调校装置,其特征在于,所述夹持机构(2221)包括:

夹持块(2226),其上设置所述配重(2223);

与所述夹持块(2226)连接的夹持臂(2224);以及

多个夹持部(2225),分别位于所述夹持臂(2224)上,用于夹持所述上棱镜。

5.根据权利要求3所述的调校装置,其特征在于,所述上棱镜初始定位模块包括:

X方向初始定位块(2211),位于所述定位架(211)上,且所述X方向初始定位块(2211)的定位面与所述下棱镜的前棱贴合;以及

多个Y方向初始定位块(2212),分别位于所述定位架(211)上,且所述多个Y方向初始定位块(2212)的定位面分别与所述下棱镜的侧面贴合。

6.根据权利要求5所述的调校装置,其特征在于,所述多个Y方向初始定位块(2212)上均设置导胶槽,所述导胶槽用于将溢出的多余胶水导出。

7.根据权利要求4所述的调校装置,其特征在于,所述夹持部(2225)包括:

螺纹套(2225II),套设于所述夹持臂(2224)的第一内孔中;

多个导向杆(2225III),分别套设于所述夹持臂(2224)的第二内孔中,并贯穿至夹持块(2225I);以及

调节螺钉(2225IV),套设于所述螺纹套(2225II)内且贯穿至所述夹持块(2225I),用于支撑所述夹持块(2225I)。

8.根据权利要求7所述的调校装置,其特征在于,所述多个导向杆(2225III)与所述夹持臂(2224)之间设置复位弹簧(2225V),所述复位弹簧(2225V)用于所述夹持块(2225I)的自动复位。

9.根据权利要求3所述的调校装置,其特征在于,该调校装置还包括:

监测模块,与所述调整位移台(2222)电连接,用于对所述调整位移台(2222)电控制,以控制所述上棱镜的位置调整。

10.根据权利要求2所述的调校装置,其特征在于,所述定位架(211)的凹槽为类V型。

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