[发明专利]一种调校装置及其调校方法在审
申请号: | 202111428098.7 | 申请日: | 2021-11-26 |
公开(公告)号: | CN114114603A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 王朋辉;李璟;陈进新;卢增雄;马敬;齐威 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02B7/18 | 分类号: | G02B7/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王文思 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调校 装置 及其 方法 | ||
本公开提供了一种调校装置,包括:底座;棱镜定位模块,设置于底座上,包括:下棱镜定位模块和上棱镜定位模块,其中,下棱镜定位模块用于将下棱镜进行定位,并使下棱镜的胶合面保持水平状态;上棱镜定位模块用于将上棱镜定位,并使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面贴合。本公开还提供了一种调校方法。
技术领域
本公开涉及光学装备技术领域,具体涉及一种调校装置及其调校方法。
背景技术
在光学工程应用方面,常利用异形棱镜对光路进行折转,完成光路的转向、光学测量等工作。在异形棱镜的制造过程中,经常涉及到异形棱镜的胶合,而胶合过程带来的棱镜相对位置误差、胶层厚度误差等成为决定异形棱镜胶合件质量的决定性因素。
从现有公开的异形棱镜生产用工装专利情况来看,工装多数为固定式工装,无法精密调整两棱镜的相对位置,棱镜的定位精度决定于工装的加工精度,对工装的加工精度要求较高。
发明内容
为了解决现有技术中上述问题,本公开提供了一种调校装置及其调校方法,该调校装置有效提高了异形棱镜胶合精度,降低胶合工装的加工精度要求,有效减少了工装的加工成本。
本公开的第一个方面提供了一种调校装置,包括:底座;棱镜定位模块,设置于底座上,包括:下棱镜定位模块和上棱镜定位模块,其中,下棱镜定位模块用于将下棱镜进行定位,并使下棱镜的胶合面保持水平状态;上棱镜定位模块用于将上棱镜定位,并使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面贴合。
进一步地,下棱镜定位模块包括:定位架,位于底座上,其中,下棱镜位于定位架的凹槽内;多个下棱镜定位块,位于定位架上,用于将下棱镜进行定位及夹紧;下棱镜压块,位于定位架上,用于在下棱镜被多个下棱镜定位块定位及夹紧之后,压紧下棱镜,使其位置固定。
进一步地,上棱镜定位模块包括:上棱镜初始定位模块,位于下棱镜定位模块上,用于对上棱镜进行初始位置定位;以及,上棱镜位置调整模块,位于底座上,包括:夹持机构、位于底座上的调整位移台及配重,其中,夹持机构位于调整位移台上,夹持机构一端用于夹持上棱镜,其另一端与配重连接,其中,调整位移台用于驱动夹持机构,以调整上棱镜的位置。
进一步地,夹持机构包括:夹持块,其上设置配重;与夹持块连接的夹持臂;多个夹持部,分别位于夹持臂上,用于夹持上棱镜。
进一步地,上棱镜初始定位模块包括:X方向初始定位块,位于定位架上,且X方向初始定位块的定位面与下棱镜的前棱贴合;多个Y方向初始定位块,分别位于定位架上,且多个Y方向初始定位块的定位面分别与下棱镜的侧面贴合。
进一步地,多个Y方向初始定位块上均设置导胶槽,导胶槽用于将溢出的多余胶水导出。
进一步地,夹持部包括:螺纹套,套设于夹持臂的第一内孔中;多个导向杆,分别套设于夹持臂的第二内孔中,并贯穿至夹持块;调节螺钉,套设于螺纹套内且贯穿至夹持块,用于支撑夹持块。
进一步地,多个导向杆与夹持臂之间设置复位弹簧,复位弹簧用于夹持块的自动复位。
进一步地,该调校装置还包括:监测模块,与调整位移台电连接,用于对调整位移台电控制,以控制上棱镜的位置调整。
进一步地,定位架的凹槽为类V型。
本公开的第二个方面提供了一种基于本公开第一个方面提供的调校装置的调校方法,包括:利用下棱镜定位模块将下棱镜进行定位,并使下棱镜的胶合面保持水平状态;在下棱镜的胶合面上点涂粘合胶;将上棱镜放置于下棱镜上,并使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面贴合;以及,采用调整位移台驱动上棱镜定位模块中的上棱镜位置调整模块,以调整上棱镜的位置,使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面完全重叠。
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