[发明专利]3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构在审
| 申请号： | 202111422496.8 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114082698A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 于海超;徐兴光;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构属于半导体加工测试技术领域；该装置包括底座、上压板组件、右底板、第一上固定板、第一下固定板、第一上压紧板、第一下移动板、第一导向杆、第一调节螺栓、下压板组件、左底板、第二上固定板、第二下固定板、第二上压紧板、第二下移动板、第二导向杆、第二调节螺栓、卡扣、喷嘴组件、压缩空气进口、清洗液进口、高温氮气进口、合页和3DMEMS探针；本申请设置有便于安装的底座，在清洗时能够通过下移动板和上压紧板实现纱网绷紧，能够方便探针的放置，并能够提高探针的清洗效果；能够将清洗液打散成雾状喷洒在纱网上，完成对探针的清洗，再通入高温氮气，对探针进行烘干。 | ||
| 搜索关键词： | dmems 探针 清洗 烘干 装置 方法 及其 关键 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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