[发明专利]3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构

权利要求书

1.3DMEMS探针清洗烘干装置，其特征在于：包括底座（1）、上压板组件（2）、下压板组件（3）、喷嘴组件（4）、合页（5）和3DMEMS探针（6），所述上压板组件（2）和下压板组件（3）安装在底座（1）上，所述压板组件（2）和下压板组件（3）侧壁都固定安装有喷嘴组件（4），用于对3DMEMS探针（6）进行清洗，所述底座（1）底部开有泄流槽的结构，用于清洗液排出，合页（5）用于连接两侧的上压板组件（2）和下压板组件（3），所述上压板组件（2）和下压板组件（3）之间设置有3DMEMS探针（6）；

所述上压板组件（2）包括右底板（2-1）、第一上固定板（2-2）和第一下固定板（2-3），设置在右底板（2-1）表面的第一下固定板（2-3）和第一下移动板（2-5），设置在第一下固定板（2-3）侧壁的第一上固定板（2-2），设置在第一下移动板（2-5）侧壁的第一上压紧板（2-4），设置在右底板（2-1）顶部的第一调节螺栓（2-7）和设置在右底板（2-1）侧壁的第一导向杆（2-6）；所述右底板（2-1）顶部与第一调节螺栓（2-7）螺纹连接，所述第一调节螺栓（2-7）底端与第一导向杆（2-6）内部转动连接，所述第一导向杆（2-6）与第一下移动板（2-5）固定连接，所述第一下固定板（2-3）和第一上固定板（2-2）通过螺丝固定，所述第一下固定板（2-3）和第一上固定板（2-2）之间夹持有纱网，所述第一下移动板（2-5）和第一上压紧板（2-4）之间夹持有纱网；

所述下压板组件（3）包括左底板（3-1）、第二上固定板（3-2）和第二下固定板（3-3），设置在左底板（3-1）表面的第二下固定板（3-3）和第二第一上压紧板（2-4），设置在左底板（3-1）顶部的第二调节螺栓（3-7）和设置在左底板（3-1）侧壁的第二导向杆（3-6）；所述左底板（3-1）顶部与第二调节螺栓（3-7）螺纹连接，所述第二调节螺栓（3-7）底端与第二导向杆（3-6）内部转动连接，所述第二导向杆（3-6）与第二下移动板（3-5）固定连接，所述第二下固定板（3-3）和第二上固定板（3-2）通过螺丝固定，所述第二下固定板（3-3）和第二上固定板（3-2）之间夹持有纱网，所述第二下移动板（3-5）和第二上压紧板（3-4）之间夹持有纱网；

所述喷嘴组件（4）包括压缩空气进口（4-1）、清洗液进口（4-2）和高温氮气进口（4-3），所述压缩空气进口（4-1）分别与清洗液进口（4-2）以及高温氮气进口（4-3）固定连接。

2.根据权利要求1所述的3DMEMS探针清洗烘干装置的关键结构，为上压板组件（2），其特征在于：包括右底板（2-1）、第一上固定板（2-2）和第一下固定板（2-3），设置在右底板（2-1）表面的第一下固定板（2-3）和第一下移动板（2-5），设置在第一下固定板（2-3）侧壁的第一上固定板（2-2），设置在第一下移动板（2-5）侧壁的第一上压紧板（2-4），设置在右底板（2-1）顶部的第一调节螺栓（2-7）和设置在右底板（2-1）侧壁的第一导向杆（2-6）；所述右底板（2-1）顶部与第一调节螺栓（2-7）螺纹连接，所述第一调节螺栓（2-7）底端与第一导向杆（2-6）内部转动连接，所述第一导向杆（2-6）与第一下移动板（2-5）固定连接，所述第一下固定板（2-3）和第一上固定板（2-2）通过螺丝固定，所述第一下固定板（2-3）和第一上固定板（2-2）之间夹持有纱网，所述第一下移动板（2-5）和第一上压紧板（2-4）之间夹持有纱网。

3.根据权利要求1所述的3DMEMS探针清洗烘干装置的关键结构，为下压板组件（3），其特征在于：包括左底板（3-1）、第二上固定板（3-2）和第二下固定板（3-3），设置在左底板（3-1）表面的第二下固定板（3-3）和第二第一上压紧板（2-4），设置在左底板（3-1）顶部的第二调节螺栓（3-7）和设置在左底板（3-1）侧壁的第二导向杆（3-6）；所述左底板（3-1）顶部与第二调节螺栓（3-7）螺纹连接，所述第二调节螺栓（3-7）底端与第二导向杆（3-6）内部转动连接，所述第二导向杆（3-6）与第二下移动板（3-5）固定连接，所述第二下固定板（3-3）和第二上固定板（3-2）通过螺丝固定，所述第二下固定板（3-3）和第二上固定板（3-2）之间夹持有纱网，所述第二下移动板（3-5）和第二上压紧板（3-4）之间夹持有纱网。