[发明专利]3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构

说明书

本发明3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构属于半导体加工测试技术领域；该装置包括底座、上压板组件、右底板、第一上固定板、第一下固定板、第一上压紧板、第一下移动板、第一导向杆、第一调节螺栓、下压板组件、左底板、第二上固定板、第二下固定板、第二上压紧板、第二下移动板、第二导向杆、第二调节螺栓、卡扣、喷嘴组件、压缩空气进口、清洗液进口、高温氮气进口、合页和3DMEMS探针；本申请设置有便于安装的底座，在清洗时能够通过下移动板和上压紧板实现纱网绷紧，能够方便探针的放置，并能够提高探针的清洗效果；能够将清洗液打散成雾状喷洒在纱网上，完成对探针的清洗，再通入高温氮气，对探针进行烘干。

技术领域

本发明3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构属于半导体加工测试技术领域。

背景技术

MEMS是指微机电技术，在电子产品中的地位愈来愈重要，不论是在汽车、工业、医疗或军事上需要用到此类精密的元器件，在信息、通讯和消费性电子等大众的市场，也可以看到快速增长的MEMS应用，芯片测试探针卡是用于芯片引脚测试，根据不同工序要求芯片引脚测试需求也不同，为了满足不同测试需求，设计了3D MEMS探针，根据工艺生产需要，3DMEMS探针需要做成相互连接结，当3D MEMS探针膜从硅片上释放后，由于表面有药剂、水渍，需要进行表面清洗，并且要进行烘干，然后才能进入下一道工序。

发明内容

本发明的目的就在于提供一种3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构。

本发明的目的是这样实现的：

3DMEMS探针清洗烘干装置，包括底座、上压板组件、下压板组件、喷嘴组件、合页和3DMEMS探针，所述上压板组件和下压板组件安装在底座上，所述压板组件和下压板组件侧壁都固定安装有喷嘴组件，用于对3DMEMS探针进行清洗，所述底座底部开有泄流槽的结构，用于清洗液排出，合页用于连接两侧的上压板组件和下压板组件，所述上压板组件和下压板组件之间设置有3DMEMS探针；

所述上压板组件包括右底板、第一上固定板和第一下固定板，设置在右底板表面的第一下固定板和第一下移动板，设置在第一下固定板侧壁的第一上固定板，设置在第一下移动板侧壁的第一上压紧板，设置在右底板顶部的第一调节螺栓和设置在右底板侧壁的第一导向杆；所述右底板顶部与第一调节螺栓螺纹连接，所述第一调节螺栓底端与第一导向杆内部转动连接，所述第一导向杆与第一下移动板固定连接，所述第一下固定板和第一上固定板通过螺丝固定，所述第一下固定板和第一上固定板之间夹持有纱网，所述第一下移动板和第一上压紧板之间夹持有纱网；

所述下压板组件包括左底板、第二上固定板和第二下固定板，设置在左底板表面的第二下固定板和第二第一上压紧板，设置在左底板顶部的第二调节螺栓和设置在左底板侧壁的第二导向杆；所述左底板顶部与第二调节螺栓螺纹连接，所述第二调节螺栓底端与第二导向杆内部转动连接，所述第二导向杆与第二下移动板固定连接，所述第二下固定板和第二上固定板通过螺丝固定，所述第二下固定板和第二上固定板之间夹持有纱网，所述第二下移动板和第二上压紧板之间夹持有纱网；

所述喷嘴组件包括压缩空气进口、清洗液进口和高温氮气进口，所述压缩空气进口分别与清洗液进口以及高温氮气进口固定连接。

3DMEMS探针清洗烘干装置的上压板组件，包括右底板、第一上固定板和第一下固定板，设置在右底板表面的第一下固定板和第一下移动板，设置在第一下固定板侧壁的第一上固定板，设置在第一下移动板侧壁的第一上压紧板，设置在右底板顶部的第一调节螺栓和设置在右底板侧壁的第一导向杆；所述右底板顶部与第一调节螺栓螺纹连接，所述第一调节螺栓底端与第一导向杆内部转动连接，所述第一导向杆与第一下移动板固定连接，所述第一下固定板和第一上固定板通过螺丝固定，所述第一下固定板和第一上固定板之间夹持有纱网，所述第一下移动板和第一上压紧板之间夹持有纱网。