[发明专利]一种平板蚀刻用工艺及其装置在审
| 申请号： | 202111412564.2 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN113981446A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 冯连国 | 申请（专利权）人： | 江苏佰元鸿金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京众合佳创知识产权代理有限公司 16020 | 代理人： | 康宇宁 |
| 地址： | 224200 江苏省盐城市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻领域，公开了一种平板蚀刻用工艺及其装置，该工艺包括如下步骤：S1：首先对金属板待蚀刻面进行清洗和干燥处理；S2：将金属板进行贴膜或涂布处理；S3：将金属板进行烘干处理；S4：将金属板按照进行曝光、显影处理，曝光、显影的图纹与预设图纹一致，曝光、显影的图纹中任意一条纹路的截面宽度小于预设图纹对应纹路的截面宽度；S5：再将金属板进行烘干；S6：对金属板进行蚀刻；S7：最后进行脱膜即可，本发明提出的平板用蚀刻工艺，通过缩小蚀刻纹路宽度能够有效避免侧蚀问题；本发明提出的蚀刻装置，能够实现流水线式自动化蚀刻处理功能，能够根据不同蚀刻要求，调节金属板呈不同姿态和动作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 蚀刻 用工 及其 装置 | ||
【主权项】：
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