[发明专利]MEMS硅压阻式气体压力传感器有效
| 申请号： | 202111408716.1 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114061824B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张建国;杨格;王海峰;陈建环;郑灿林 | 申请（专利权）人： | 深圳华美澳通传感器有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 王启蒙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区平*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS硅压阻式气体压力传感器，其包括：壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，第一腔室具有第一气嘴，第二腔室具有第二气嘴，壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，校准流道连通第一腔室和第三腔室，一第一气流流道连通第一腔室和第三腔室，另一第一气流流道连通第二腔室和第三腔室；敏感元件，收容于第一腔室，硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封校准流道；密封塞，收容于第三腔室，密封塞包括两个密封凸柱，一密封凸柱对应可活动设于一第一气流流道，密封凸柱的外周面用以与第一气流流道的内周面密封配合；以及驱动件，用以驱动密封凸柱。本发明的技术方案旨在提高MEMS硅压阻式气体压力传感器的气密性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 硅压阻式 气体 压力传感器 | ||
【主权项】：
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