[发明专利]显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备在审
| 申请号： | 202111388897.6 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114035409A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 吁卫东;韦亚一;杨尚 | 申请（专利权）人： | 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H05K3/06;B25J9/16 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 孔垂超 |
| 地址： | 510535 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备。该显影震荡装置包括震荡控制装置以及两两连接的计算控制装置、水平探测装置和机械臂；震荡控制装置用于控制机械臂运动的速度、频率及方向；水平探测装置用于获取印制电路板基板的偏移数据，将偏移数据发送给计算控制装置，并在计算控制装置的控制下调整机械臂的位姿参数；计算控制装置用于根据偏移数据计算出水平探测装置的调整参数，基于调整参数控制水平探测装置调整机械臂的位姿参数。本申请的显影震荡装置能够通过控制机械臂的运动的频率与速度调整基板在显影液中的震荡参数，改善印制电路板在生产过程中由于光的衍射、漫反射等效应所导致的图像边缘有毛边的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 震荡 装置 方法 制造 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东省大湾区集成电路与系统应用研究院，未经广东省大湾区集成电路与系统应用研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111388897.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：日志导出方法、装置、电子设备及存储介质
- 下一篇：一种光模块
