[发明专利]显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备

权利要求书

1.一种显影震荡装置，其特征在于，包括震荡控制装置以及两两连接的计算控制装置、水平探测装置和机械臂；

所述机械臂用于抓取印制电路板基板以及将所述印制电路板基板浸入显影液进行处理；

所述震荡控制装置与所述机械臂电连接，所述震荡控制装置用于控制所述机械臂运动的速度、频率以及方向；

所述水平探测装置用于获取所述印制电路板基板的偏移数据，将所述偏移数据发送给所述计算控制装置，并在所述计算控制装置的控制下调整所述机械臂的位姿参数；

所述计算控制装置用于根据所述偏移数据计算出所述水平探测装置的调整参数，基于所述调整参数控制所述水平探测装置调整所述机械臂的位姿参数。

2.根据权利要求1所述的显影震荡装置，其特征在于，所述震荡速度频率控制装置包括互相连接的延时控制装置和电磁控制开关装置；

所述电磁控制开关装置与所述机械臂电连接，所述电磁控制开关装置用于控制所述机械臂沿水平方向运动；

所述延时控制装置用于基于预设频率通过所述电磁控制开关装置控制所述机械臂运动的速度和频率。

3.根据权利要求1所述的显影震荡装置，其特征在于，所述水平探测装置包括计算单元以及分别与所述计算单元相连接的激光发射单元和激光接收单元；

所述激光发射单元用于向所述印制电路板基板发射激光束；

所述激光接收单元用于接收所述印制电路板基板所反射的所述激光束；

所述计算单元用于根据所述激光束的反射光程差计算所述印制电路板基板的偏移数据，并将所述偏移数据发送给所述计算控制装置。

4.一种显影装置，其特征在于，包括权利要求1-3中任一项所述的显影震荡装置以及用于盛放所述显影液的显影槽。

5.一种显影方法，其特征在于，通过权利要求4所述的显影装置实现；所述显影方法包括：

所述机械臂抓取印制电路板基板以及将所述印制电路板基板浸入所述显影液进行处理；

所述震荡控制装置控制所述机械臂运动的速度、频率以及方向；

所述水平探测装置获取所述印制电路板基板的偏移数据，将所述偏移数据发送给所述计算控制装置，并在所述计算控制装置的控制下调整所述机械臂的位姿参数；

所述计算控制装置根据所述偏移数据计算出所述水平探测装置的调整参数，基于所述调整参数控制所述水平探测装置调整所述机械臂的位姿参数。

6.根据权利要求5所述的显影方法，其特征在于，所述震荡速度频率控制装置包括互相连接的延时控制装置和电磁控制开关装置；所述电磁控制开关装置与所述机械臂电连接；

所述震荡控制装置控制所述机械臂运动的速度、频率以及方向，包括：

所述电磁控制开关装置控制所述机械臂沿水平方向运动；

所述延时控制装置基于预设频率通过所述电磁控制开关装置控制所述机械臂运动的速度和频率。

7.根据权利要求5所述的显影方法，其特征在于，所述水平探测装置包括计算单元以及分别与所述计算单元相连接的激光发射单元和激光接收单元；

所述水平探测装置获取所述印制电路板基板的偏移数据，将所述偏移数据发送给所述计算控制装置，包括：

所述激光发射单元向所述印制电路板基板发射激光束；

所述激光接收单元接收所述印制电路板基板所反射的所述激光束；

所述计算单元根据所述激光束的反射光程差计算所述印制电路板基板的偏移数据，并将所述偏移数据发送给所述计算控制装置。