[发明专利]显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备

说明书

本申请公开了一种显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备。该显影震荡装置包括震荡控制装置以及两两连接的计算控制装置、水平探测装置和机械臂；震荡控制装置用于控制机械臂运动的速度、频率及方向；水平探测装置用于获取印制电路板基板的偏移数据，将偏移数据发送给计算控制装置，并在计算控制装置的控制下调整机械臂的位姿参数；计算控制装置用于根据偏移数据计算出水平探测装置的调整参数，基于调整参数控制水平探测装置调整机械臂的位姿参数。本申请的显影震荡装置能够通过控制机械臂的运动的频率与速度调整基板在显影液中的震荡参数，改善印制电路板在生产过程中由于光的衍射、漫反射等效应所导致的图像边缘有毛边的缺陷。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备。

背景技术

目前，市面上主要采用DMD数字化掩模光刻技术(Digital Micromirror Device)来生产印制电路板(Printed Circuit Board，简称PCB)。由于衍射效应、漫反射、杂散光的存在，使得印制电路板制备工艺中光强能量分散比较弥散，进而导致印制电路板图像边缘存在毛边，如何消除印制电路板制备工艺中由于光能分布弥散所导致的毛边现象是当前亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本申请的目的是提供一种显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备。为了对披露的实施例的一些方面有一个基本的理解，下面给出了简单的概括。该概括部分不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围。其唯一目的是用简单的形式呈现一些概念，以此作为后面的详细说明的序言。

根据本申请实施例的一个方面，提供一种显影震荡装置，包括震荡控制装置以及两两连接的计算控制装置、水平探测装置和机械臂；

所述机械臂用于抓取印制电路板基板以及将所述印制电路板基板浸入显影液进行处理；

所述震荡控制装置与所述机械臂电连接，所述震荡控制装置用于控制所述机械臂运动的速度、频率以及方向；

所述水平探测装置用于获取所述印制电路板基板的偏移数据，将所述偏移数据发送给所述计算控制装置，并在所述计算控制装置的控制下调整所述机械臂的位姿参数；

所述计算控制装置用于根据所述偏移数据计算出所述水平探测装置的调整参数，基于所述调整参数控制所述水平探测装置调整所述机械臂的位姿参数。

在本申请的一些实施例中，所述震荡速度频率控制装置包括互相连接的延时控制装置和电磁控制开关装置；

所述电磁控制开关装置与所述机械臂电连接，所述电磁控制开关装置用于控制所述机械臂沿水平方向运动；

所述延时控制装置用于基于预设频率通过所述电磁控制开关装置控制所述机械臂运动的速度和频率。

在本申请的一些实施例中，所述水平探测装置包括计算单元以及分别与所述计算单元相连接的激光发射单元和激光接收单元；

所述激光发射单元用于向所述印制电路板基板发射激光束；

所述激光接收单元用于接收所述印制电路板基板所反射的所述激光束；

所述计算单元用于根据所述激光束的反射光程差计算所述印制电路板基板的偏移数据，并将所述偏移数据发送给所述计算控制装置。

根据本申请实施例的另一个方面，提供一种显影装置，包括上述任一项所述的显影震荡装置以及用于盛放所述显影液的显影槽。

根据本申请实施例的另一个方面，提供一种显影方法，通过上述的显影装置实现；所述显影方法包括：

所述机械臂抓取印制电路板基板以及将所述印制电路板基板浸入所述显影液进行处理；