[发明专利]电子装置有效
申请号: | 202111365337.9 | 申请日: | 2020-07-08 |
公开(公告)号: | CN114023819B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 张安邦 | 申请(专利权)人: | 英诺赛科(珠海)科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L21/335;H01L23/29;H01L23/31;H01L21/56 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 林祥 |
地址: | 519085 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 电子装置包括第一氮化物半导体层、第二氮化物半导体层、源极电极、漏极电极、栅极电极、表面状态补偿层以及介电层。第二氮化物半导体层安置在第一氮化物半导体层上,且具有的带隙比第一氮化物半导体层的带隙更大。源极电极、漏极电极以及栅极电极安置在所述第二氮化物半导体层上。表面状态补偿层直接安置在所述第二氮化物半导体层上。介电层安置在表面状态补偿层上,并与表面状态补偿层接触,其中介电层与表面状态补偿层相比,介电层具有较低的介电常数。 | ||
搜索关键词: | 电子 装置 | ||
【主权项】:
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