[发明专利]一种透明介质薄层的缺陷检测方法和装置在审
| 申请号： | 202111351400.3 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114184624A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 孙栋;宋鲁明;周贤建;林洪沂;穆瑞珍 | 申请（专利权）人： | 厦门理工学院;瑞之路（厦门）眼镜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及缺陷检测领域，特别地涉及一种透明介质薄层的缺陷检测方法和装置。本发明公开了一种透明介质薄层的缺陷检测方法和装置，其中，方法包括如下步骤：S1，提供一入射光，使该入射光以全反射角或大于全反射角入射至待测透明介质薄层的表面；S2，探测待测透明介质薄层是否有对应于该入射光的漫散射光出射，若有，则待测透明介质薄层存在缺陷。本发明可以有效可靠地检测透明介质薄层中的细微缺陷，操作便捷，检测速度快，效率高，节省大量人力成本，且设备简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 介质 薄层 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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