[发明专利]晶体管沟道材料在审

专利信息
申请号: 202111331418.7 申请日: 2021-11-11
公开(公告)号: CN114628501A 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: A·A·夏尔马;N·萨托;V·H·勒;S·阿塔纳索夫;A·S·古普塔;M·V·梅斯;H·J·允 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L29/10 分类号: H01L29/10;H01L29/12;H01L29/78;H01L29/786
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 舒雄文
地址: 美国加*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本文公开的是晶体管沟道材料以及相关方法和设备。例如,在一些实施例中,晶体管可以包括沟道材料,该沟道材料包括具有第一导电类型的半导体材料,并且沟道材料还可以包括掺杂剂,该掺杂剂包括:(1)绝缘材料;和/或(2)具有与第一导电类型相反的第二导电类型的材料。
搜索关键词: 晶体管 沟道 材料
【主权项】:
暂无信息
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