[发明专利]晶体管沟道材料在审
申请号: | 202111331418.7 | 申请日: | 2021-11-11 |
公开(公告)号: | CN114628501A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | A·A·夏尔马;N·萨托;V·H·勒;S·阿塔纳索夫;A·S·古普塔;M·V·梅斯;H·J·允 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L29/10 | 分类号: | H01L29/10;H01L29/12;H01L29/78;H01L29/786 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 舒雄文 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本文公开的是晶体管沟道材料以及相关方法和设备。例如,在一些实施例中,晶体管可以包括沟道材料,该沟道材料包括具有第一导电类型的半导体材料,并且沟道材料还可以包括掺杂剂,该掺杂剂包括:(1)绝缘材料;和/或(2)具有与第一导电类型相反的第二导电类型的材料。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 沟道 材料 | ||
【主权项】:
暂无信息
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