[发明专利]一种可双面压印的纳米压印设备在审
| 申请号： | 202111316482.8 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN113934110A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可双面压印的纳米压印设备，包括：工作台，工作台上设置有透明板a，在工作台上表面设置有真空槽a，真空槽a与真空泵连接，以在真空槽a内产生负压固定模板，在工作台上方设置有滑轨，与滑轨连接有可竖向移动的吸盘，吸盘上设置有透明板b，在吸盘的下表面设置有真空槽b，真空槽b与真空泵连接，以在真空槽b内产生负压固定模板或基片，还包括紫外固化装置，紫外固化装置可发出紫外灯光穿过透明板a和透明板b照射模板或基片。本发明通过一台设备就能实现双面压印，不仅制造过程比较简单，且造价成本低廉，简单经济的引入双面有序排列的微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 压印 纳米 设备 | ||
【主权项】：
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