[发明专利]一种可双面压印的纳米压印设备

权利要求书

1.一种可双面压印的纳米压印设备，其特征在于，包括：工作台，所述工作台上设置有透明板a，在所述工作台上表面设置有真空槽a，所述真空槽a与真空泵连接，以在所述真空槽a内产生负压固定模板，在工作台上方设置有滑轨，与滑轨连接有可竖向移动的吸盘，所述吸盘上设置有透明板b，在吸盘的下表面设置有真空槽b，真空槽b与真空泵连接，以在真空槽b内产生负压固定模板或基片，还包括紫外固化装置，所述紫外固化装置可发出紫外灯光穿过透明板a和透明板b照射模板或基片。

2.根据权利要求1所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：所述真空槽a位于透明板a的外侧，且在所述真空槽a外侧设置有定位槽a，以定位模板。

3.根据权利要求1所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：在所述真空槽b外侧设置有定位槽b，以定位模板。

4.根据权利要求1所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：所述真空槽b包括模板真空槽b，以及基片真空槽，所述基片真空槽位于所述透明板b上，且所述模板真空槽b位于所述基片真空槽外侧。

5.根据权利要求1所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：在所述吸盘上方，与所述滑轨连接有对位装置，模板及基片上分别设置对位标记,以通过对位装置观察模板与基片对位标记，控制吸盘微调，使模板与基片对正。

6.根据权利要求2所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：所述对位装置包括电机、伸缩杆，连接板，以及显示单元，所述电机与所述滑轨连接，所述伸缩杆竖向连接于所述电机上，所述连接板连接于所述伸缩杆的底端，显示单元安装于所述连接板上，且显示单元活动范围与透明板b对应，以通过显示单元观察对位标记。

7.根据权利要求1所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：所述滑轨与所述吸盘连接有伸缩柱，所述伸缩柱与所述滑轨之间通过电机连接。

8.根据权利要求1所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：所述紫外固化装置为紫外灯，紫外灯设置有两个，分别与透明板a及透明板b相对应。

9.根据权利要求1所述的可双面压印的纳米压印设备，其特征在于：还包括外壳。