[发明专利]一种可双面压印的纳米压印设备

说明书

本发明提出一种可双面压印的纳米压印设备，包括：工作台，工作台上设置有透明板a，在工作台上表面设置有真空槽a，真空槽a与真空泵连接，以在真空槽a内产生负压固定模板，在工作台上方设置有滑轨，与滑轨连接有可竖向移动的吸盘，吸盘上设置有透明板b，在吸盘的下表面设置有真空槽b，真空槽b与真空泵连接，以在真空槽b内产生负压固定模板或基片，还包括紫外固化装置，紫外固化装置可发出紫外灯光穿过透明板a和透明板b照射模板或基片。本发明通过一台设备就能实现双面压印，不仅制造过程比较简单，且造价成本低廉，简单经济的引入双面有序排列的微结构。

技术领域

本发明属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种可双面压印的纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术。该技术通过机械转移的手段，达到了超高的分辨率，有望在未来取代传统光刻技术，成为微电子、材料领域的重要加工手段。目前，双面纳米压印的应用范围越来越广，例如仿生蛾眼的减反射玻璃，有机电致发光器件，可穿戴电子设备中的柔性压力传感器等。尽管这种方式存在一定优势，但现有的光刻技术的制造过程比较复杂，费时且成本高，且不能简便且经济地引入双面有序排列的微结构。

发明内容

本发明针对上述的技术问题，提出一种可双面压印的纳米压印设备,通过一台设备就能实现双面压印，不仅制造过程比较简单，且造价成本低廉，简单经济的引入双面有序排列的微结构。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种可双面压印的纳米压印设备，包括：工作台，所述工作台上设置有透明板a，在所述工作台上表面设置有真空槽a，所述真空槽a与真空泵连接，以在所述真空槽a内产生负压固定模板，在工作台上方设置有滑轨，与滑轨连接有可竖向移动的吸盘，所述吸盘上设置有透明板b，在吸盘的下表面设置有真空槽b，真空槽b与真空泵连接，以在真空槽b内产生负压固定模板或基片，还包括紫外固化装置，所述紫外固化装置可发出紫外灯光穿过透明板a和透明板b照射模板或基片。

在本发明的一些实施例中，所述真空槽a位于透明板a的外侧，且在所述真空槽a外侧设置有定位槽a，以定位模板。

在本发明的一些实施例中，在所述真空槽b外侧设置有定位槽b，以定位模板。

在本发明的一些实施例中，所述真空槽b包括模板真空槽b，以及基片真空槽，所述基片真空槽位于所述透明板b上，且所述模板真空槽b位于所述基片真空槽外侧。

在本发明的一些实施例中，在所述吸盘上方，与所述滑轨连接有对位装置，模板及基片上分别设置对位标记,以通过对位装置观察模板与基片对位标记，控制吸盘微调，使模板与基片对正。

在本发明的一些实施例中，所述对位装置包括电机、伸缩杆，连接板，以及显示单元，所述电机与所述滑轨连接，所述伸缩杆竖向连接于所述电机上，所述连接板连接于所述伸缩杆的底端，显示单元安装于所述连接板上，且显示单元活动范围与透明板b对应，以通过显示单元观察对位标记。

在本发明的一些实施例中，所述滑轨与所述吸盘连接有伸缩柱，所述伸缩柱与所述滑轨之间通过电机连接。

在本发明的一些实施例中，所述紫外固化装置为紫外灯，紫外灯设置有两个，分别与透明板a及透明板b相对应。

在本发明的一些实施例中，还包括外壳。

与现有技术相比，本发明的优点和积极效果在于：

工作台上固定模板，吸盘上固定基片，模板上滴压印胶，通过吸盘下压，使基片与模板上的压印胶相接触直至完全填充，吸盘释放基片并复位至初始位置，并通过吸盘固定另一模板，在基片的上表面滴压印胶，再次通过吸盘下压，使模板与基片上的压印胶相接触直至完全填充，工作台释放模板，吸盘释放另一模板，完成压印，通过一台设备就能实现双面压印，不仅制造过程比较简单，且造价成本低廉，简单经济的引入双面有序排列的微结构。

附图说明