[发明专利]石英红外加热装置及其对基板加热的方法在审
| 申请号： | 202111292027.9 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN114126101A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 周黎斌 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H05B3/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种石英红外加热装置及其对基板加热的方法，石英红外加热装置包括多个并排设置的红外加热管、形成密封腔的石英盖板，以及冷却机构，红外加热管位于密封腔内，冷却机构包括第一冷却喷头和第二冷却喷头，第一冷却喷头位于密封腔内，第二冷却喷头位于密封腔外，红外加热管经过石英盖板向基板辐射热，可减少热胀冷缩摩擦产生的颗粒物，对密封腔内、外的降温处理分开进行，可防止密封腔内的颗粒物进入到密封腔外，避免颗粒物附着在基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 红外 加热 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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