[发明专利]石英红外加热装置及其对基板加热的方法

权利要求书

1.一种石英红外加热装置，其特征在于，包括：

多个并排设置的红外加热管；

石英盖板，形成一密封腔，所述红外加热管位于所述密封腔内；

冷却机构，包括第一冷却喷头和第二冷却喷头，所述第一冷却喷头位于所述密封腔内，所述第二冷却喷头位于所述密封腔外。

2.根据权利要求1所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述石英红外加热装置还包括设置于所述石英盖板周侧且与所述石英盖板连接的支撑机构，所述支撑机构包括自所述石英盖板的边缘向外延伸的曲面结构，所述曲面结构向背离所述密封腔的方向弯曲。

3.根据权利要求2所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述曲面结构包括圆弧面。

4.根据权利要求2或3所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述石英盖板包括分别设于所述红外加热管的两相对侧的第一盖板和第二盖板，所述曲面结构包括与所述第一盖板同侧的第一曲面结构和与所述第二盖板同侧的第二曲面结构。

5.根据权利要求2所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述第一冷却喷头靠近于所述密封腔的侧壁设置，所述第一冷却喷头相对所述红外加热管可旋转；所述第二冷却喷头设置于对应的所述曲面结构远离所述密封腔的一端，所述第二冷却喷头相对所述石英盖板可旋转。

6.根据权利要求5所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述冷却机构包括连接所述第一冷却喷头的第一冷却管和连接所述第二冷却喷头的第二冷却管，所述第一冷却管和所述第二冷却管均填充有气体冷却介质。

7.根据权利要求6所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述冷却机构还包括用于收集所述密封腔内的气体冷却介质的第一排气管、用于收集所述密封腔外的气体冷却介质的第二排气管，所述第一排气管和所述第二排气管外接于一热回收系统，所述热回收系统连接一气体过滤系统。

8.根据权利要求7所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述气体过滤系统还与所述第二冷却管连接，所述气体过滤系统还连接一废气排出管。

9.根据权利要求2所述的石英红外加热装置，其特征在于，所述支撑机构的材料包括石英材质。

10.一种如权利要求1～9任一项所述的石英红外加热装置对基板加热的方法，其特征在于，包括：

将至少一所述石英红外加热装置和至少一所述基板叠层置于一处理室内；

对所述处理室抽真空、对所述基板进行辐射加热；

通过第一冷却喷头向密封腔内通入气体冷却介质；

回收所述密封腔内的气体冷却介质；

对回收的气体冷却介质进行过滤；

通过第二冷却喷头向所述处理室内供应过滤后的气体冷却介质。