[发明专利]石英红外加热装置及其对基板加热的方法

说明书

本申请实施例公开了一种石英红外加热装置及其对基板加热的方法，石英红外加热装置包括多个并排设置的红外加热管、形成密封腔的石英盖板，以及冷却机构，红外加热管位于密封腔内，冷却机构包括第一冷却喷头和第二冷却喷头，第一冷却喷头位于密封腔内，第二冷却喷头位于密封腔外，红外加热管经过石英盖板向基板辐射热，可减少热胀冷缩摩擦产生的颗粒物，对密封腔内、外的降温处理分开进行，可防止密封腔内的颗粒物进入到密封腔外，避免颗粒物附着在基板上。

技术领域

本发明涉及显示器加工技术领域，尤其涉及一种石英红外加热装置及其对基板加热的方法。

背景技术

在柔性显示面板的生产工艺中，通常使用聚酰亚胺(PI)材料制作柔性基板，由于聚酰胺酸聚合成聚酰亚胺会有很多水以及其他溶剂挥发出来，且加热装置由于材质(例如铁材)原因，易产生颗粒物(particle)。在对基板进行固化量产时，腔室壁上的溶剂以及颗粒物不断累积，从而需要定期对设备进行维护，进而降低了产能。

发明内容

本发明实施例提供一种石英红外加热装置及其对基板加热的方法，以解决现有的基板加热的装置，在对基板加热时，易产生颗粒物，进而影响产能的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明实施例提供一种石英红外加热装置，包括：

多个并排设置的红外加热管；

石英盖板，形成一密封腔，所述红外加热管位于所述密封腔内；

冷却机构，包括第一冷却喷头和第二冷却喷头，所述第一冷却喷头位于所述密封腔内，所述第二冷却喷头位于所述密封腔外。

在本发明的一些实施例中，所述石英红外加热装置还包括设置于所述石英盖板周侧且与所述石英盖板连接的支撑机构，所述支撑机构包括自所述石英盖板的边缘向外延伸的曲面结构，所述曲面结构向背离所述密封腔的方向弯曲。

在本发明的一些实施例中，所述曲面结构包括圆弧面。

在本发明的一些实施例中，所述石英盖板包括分别设于所述红外加热管的两相对侧的第一盖板和第二盖板，所述曲面结构包括与所述第一盖板同侧的第一曲面结构和与所述第二盖板同侧的第二曲面结构。

在本发明的一些实施例中，所述第一冷却喷头靠近于所述密封腔的侧壁设置，所述第一冷却喷头相对所述红外加热管可旋转；所述第二冷却喷头设置于对应的所述曲面结构远离所述密封腔的一端，所述第二冷却喷头相对所述石英盖板可旋转。

在本发明的一些实施例中，所述冷却机构包括连接所述第一冷却喷头的第一冷却管和连接所述第二冷却喷头的第二冷却管，所述第一冷却管和所述第二冷却管均填充有气体冷却介质。

在本发明的一些实施例中，所述冷却机构还包括用于收集所述密封腔内的气体冷却介质的第一排气管、用于收集所述密封腔外的气体冷却介质的第二排气管，所述第一排气管和所述第二排气管外接于一热回收系统，所述热回收系统连接一气体过滤系统。

在本发明的一些实施例中，所述气体过滤系统还与所述第二冷却管连接，所述气体过滤系统还连接一废气排出管。

在本发明的一些实施例中，所述支撑机构的材料包括石英材质。

本发明实施例还提供上述实施例中的石英红外加热装置对基板加热的方法，包括：

将至少一所述石英红外加热装置和至少一所述基板叠层置于一处理室内；

对所述处理室抽真空、对所述基板进行辐射加热；

通过第一冷却喷头向密封腔内通入气体冷却介质；

回收所述密封腔内的气体冷却介质；

对回收的气体冷却介质进行过滤；