[发明专利]微显示器及其制作方法在审
| 申请号： | 202111286417.5 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN113990999A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 仉旭;庄永漳;刘纪美 | 申请（专利权）人： | 镭昱光电科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/50 | 分类号： | H01L33/50;H01L27/15 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微显示器及其制作方法。所述微显示器的制作方法包括：提供基板，所述基板具有第一表面，并且所述第一表面分布有多个自发光像素点；在所述基板的第一表面覆设波长转换层；在所述波长转换层表面覆设掩膜，所述掩膜与部分或全部的自发光像素点对应设置；采用干法刻蚀方式去除所述波长转换层未被所述掩膜保护的其余部分，从而形成波长转换矩阵。本发明通过干法刻蚀的方法来实现波长转换材料的图形化，从而获得高分辨率、高像素密度的微型显示。 | ||
| 搜索关键词： | 显示器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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