[发明专利]一种用于不同干膜快速曝光的方法在审
| 申请号： | 202111263665.8 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN114280892A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈修涛;董辉;高明;韩非 | 申请（专利权）人： | 合肥众群光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人： | 郭华俊 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市蜀*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种用于不同干膜快速曝光的方法，包括以下步骤：S1、确定干膜的型号、激光器、光学镜头、DMD的相关参数；S2、计算干膜光刻面处的能量密度α；S3、计算在光刻过程中，干膜获得的能量J和在最大频帧和给定行数下干膜的最小能量J |
||
| 搜索关键词： | 一种 用于 不同 快速 曝光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥众群光电科技有限公司，未经合肥众群光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111263665.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
