[发明专利]一种用于不同干膜快速曝光的方法

权利要求书

1.一种用于不同干膜快速曝光的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、确定干膜的型号、激光器、光学镜头、DMD的参数；

S2、计算干膜光刻面处的能量密度α；

S3、计算在光刻过程中，干膜获得的能量J和在最大频帧和给定行数下干膜的最小能量J_min；

S4、根据干膜需要的能量J_A＝J_min，计算对应型号的干膜实际行数，并且获得在最大帧频情况下的DMD最小显示行数，在最小显示行数时，计算激光器实际使用的激光功率对应的干膜所需能量，根据速度调整使干膜所需能量满足J＝J_A。

2.根据权利要求1所述的一种用于不同干膜快速曝光的方法，其特征在于，步骤S1具体为：确定干膜的型号和对应型号干膜需要的能量J_A、激光器的总功率ω、光学镜头的方法倍率β、光学系统的光学效率τ以及DMD照明光斑的最大行数L。

3.根据权利要求1所述的一种用于不同干膜快速曝光的方法，其特征在于，步骤S2具体为：

S2、计算干膜光刻面处的能量密度α，计算公式如下：

其中A表示DMD的列数。

4.根据权利要求1所述的一种用于不同干膜快速曝光的方法，其特征在于，步骤S3具体为：计算在光刻过程中，干膜获得的能量J，计算公式如下：

t表示干膜的光刻时间；N表示DMD实际显示的行数；V表示实际的光刻速度；f表示DMD的帧率；L₁表示平台触发DMD翻转的距离；

其中最大帧频f＝1/(0.04*N+8)，因此，在给定行数下干膜的最小能量为：

5.根据权利要求4所述的一种用于不同干膜快速曝光的方法，其特征在于，步骤S4具体为：

根据干膜的光刻能量J_A＝J_min，计算N的值，N为对应型号的干膜的实际DMD显示的行数；

在最大帧频情况下满足干膜所需能量，即

其中，N_min为DMD最小的显示行数；

根据公式(5)计算激光器实际使用的激光功率α₁对应的干膜所需能量

如果DMD照明光斑使用最大行数L时，此时还不满足干膜所需能量，即

则降低平台的扫描速度，使J＝J_A。

6.一种计算机可读存储介质，其特征在于，介质存有计算机程序，计算机程序运行后，执行如权利要求1-5任意一项所述的一种用于不同干膜快速曝光的方法。

7.一种计算机系统，其特征在于，包括处理器、存储介质，存储介质上存有计算机程序，处理器从存储介质上读取并运行计算机程序以执行如权利要求1-6任意一项所述的一种用于不同干膜快速曝光的方法。