[发明专利]吸盘转台和晶圆加工系统有效
| 申请号： | 202111260376.2 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113910072B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 刘远航;陶红飞;赵德文;路新春;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/00;B24B41/04;B24B41/06;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种吸盘转台和晶圆加工系统，其中吸盘转台包括：按照由上至下的顺序固定连接的吸盘、底座和轴承、以及与轴承连接的驱动机构、与轴承同轴设置的供给管；吸盘包括多孔盘和承载件，承载件上部具有用于容纳多孔盘的凹部；承载件与底座之间的接触面上设有沟槽，承载件内部设有贯穿其上、下表面的第一通道，第一通道的底端与沟槽连通，第一通道的上端通向多孔盘；底座内部设有第二通道；供给管内部设有互相隔开的第三通道和第四通道，第三通道与第二通道直接连通，第四通道与沟槽直接连通，第三通道和第四通道分别连通流体源和真空源，以通过不同通路向吸盘提供流体和真空，从而减少交互污染。晶圆加工系统包括吸盘转台和磨削工具。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 转台 加工 系统 | ||
【主权项】：
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