[发明专利]一种半导体清洗设备用烘干装置有效
| 申请号： | 202111259159.1 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113701464B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 徐竹起 | 申请（专利权）人： | 华林科纳（江苏）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 南通云创慧泉专利代理事务所(普通合伙) 32585 | 代理人： | 邵永永 |
| 地址： | 226500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体清洗设备用烘干装置，包括：烘干箱和超声波发生器，超声波发生器固定设置在烘干箱的内部；烘干辅助组件，设置在烘干箱的内部且用于驱动半导体做圆周运动，烘干辅助组件包括多个第一转动圈和第二转动圈。本发明通过将超声波发生器启动，由于超声波具有空化效应，即超声波能在水中产生气泡，这就使得导体晶片表面的液体能够产生气泡，且气泡炸开会使得液体形成较小的液滴，当空气泵驱动进风组件和出风组件形成循环风道时，空气的流通会加速液体的蒸发，使得炸开后较小的液滴要么被蒸发要么被风流带走，从而起到无须热风即可实现烘干的操作，避免半导体因温度过高造成损坏的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 备用 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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