[发明专利]一种半导体清洗设备用烘干装置

权利要求书

1.一种半导体清洗设备用烘干装置，其特征在于：包括：

烘干箱(1)和超声波发生器(2)，所述超声波发生器(2)固定设置在烘干箱(1)的内部；

烘干辅助组件(3)，设置在烘干箱(1)的内部且用于驱动半导体做圆周运动，所述烘干辅助组件(3)包括多个第一转动圈(301)和第二转动圈(302)，且多个第一转动圈(301)和第二转动圈(302)在竖直方向交错设置，所述第一转动圈(301)和第二转动圈(302)相对面的一端均活动设有多个放置球(303)，所述放置球(303)为镂空结构，且放置球(303)的表面开设有放置槽(304)，多个所述第一转动圈(301)的表面均固定连接有连接架(307)，所述放置球(303)的表面固定连接有齿圈(308)，所述第一转动圈(301)和第二转动圈(302)相对应齿圈(308)位置的一端均分别开设有齿槽，且齿圈(308)的表面与齿槽的内壁相啮合，所述放置球(303)的内壁固定连接有连接杆(305)，所述连接杆(305)远离放置球(303)内壁的一端固定连接有定位橡胶球(306)，所述第一转动圈(301)和第二转动圈(302)相对应齿圈(308)位置的一端均分别固定连接有导向轨道(309)，且齿圈(308)活动连接在导向轨道(309)的内壁，所述第一转动圈(301)和第二转动圈(302)大小相等；

驱动组件(4)，设置在烘干箱(1)的内部且用于为烘干辅助组件(3)提供动力，所述驱动组件(4)包括驱动电机(401)和安装盒(402)，所述驱动电机(401)和安装盒(402)均分别固定连接在烘干箱(1)内壁的底部，且驱动电机(401)位于安装盒(402)的内部，所述驱动电机(401)输出轴的顶部固定连接有驱动轴(403)，所述驱动轴(403)通过密封轴承活动贯穿并延伸至安装盒(402)的顶部，所述驱动轴(403)相对应顶部和底部第一转动圈(301)位置的表面均分别通过轴承转动连接有转动套(404)，所述转动套(404)的表面固定连接有第一驱动杆(405)，且第一驱动杆(405) 固定连接在第一转动圈(301)的内壁，所述驱动轴(403)相对应第二转动圈(302)位置的表面固定连接有第二驱动杆(406)，且第二驱动杆(406)固定连接在第二转动圈(302)的内壁，所述烘干箱(1)内壁的顶部以及安装盒(402)的顶部均分别固定连接有固定架(410)，所述固定架(410)相对应驱动轴(403)位置的一端固定连接有第二伞齿轮(408)，所述固定架(410)的一端和第二伞齿轮(408)均倾斜设置，所述第二伞齿轮(408)的表面分别啮合有第一伞齿轮(407)和第三伞齿轮(409)，所述第一伞齿轮(407)固定连接在转动套(404)的表面，且第三伞齿轮(409)固定连接在驱动轴(403)的表面，所述驱动轴(403)通过密封轴承活动贯穿并延伸至烘干箱(1)的顶部，所述驱动轴(403)的顶部固定连接有扭块(411)，所述第一伞齿轮(407)的直径大于第三伞齿轮(409)的直径；

进风组件(5)和出风组件(7)，所述进风组件(5)和出风组件(7)分别设置在烘干箱(1)的底部和顶部，且用于在烘干箱(1)的内部形成循环风道并除去空气中的液体；

空气泵(6)，设置在烘干箱(1)的表面且为进风组件(5)和出风组件(7)在烘干箱(1)的内部形成循环风道提供动力源。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备用烘干装置，其特征在于：所述超声波发生器(2)的数量为两个，其中一个所述超声波发生器(2)固定连接在烘干箱(1)内壁的顶部，且另一个超声波发生器(2)固定连接在安装盒(402)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗设备用烘干装置，其特征在于：所述进风组件(5)包括连接框(501)，所述连接框(501)固定连接在烘干箱(1)的中部，所述连接框(501)的顶部开设有多个进风口(502)，且进风口(502)的内部与连接框(501)的内部相连通，所述进风口(502)的内壁活动连接有第一吸水海绵(503)。