[发明专利]一种直径调控制备高性能金属纳米纤维场效应晶体管的方法有效
| 申请号： | 202111251304.1 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114023807B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 王凤云;徐沛龙;朱鑫旭;丛浩菲 | 申请（专利权）人： | 青岛大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/335;H01L29/775 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 黄晓敏 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明属于场效应晶体管制备技术领域，涉及一种直径调控制备高性能金属纳米纤维场效应晶体管的方法，先分别配制纯In静电纺丝前驱体溶液、纯Sn静电纺丝前驱体溶液和ITO静电纺丝前驱体溶液；再采用静电纺丝技术在高κ基底上制备附有NFs的高κ基底；最后将附有NFs的高κ基底处理后蒸镀一层60～100nm Al薄膜作为源、漏电极得到相应的晶体管，制备的In |
||
| 搜索关键词： | 一种 直径 调控 制备 性能 金属 纳米 纤维 场效应 晶体管 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛大学，未经青岛大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111251304.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种交通监控方法与装置
- 下一篇：一种基于远程遥控的自行走灭火机器人
- 同类专利
- 专利分类
