[发明专利]阵列基板及其制备方法和显示面板

摘要

本申请公开了一种阵列基板及其制备方法和显示面板，阵列基板包括衬底、有源层、蚀刻保护层、欧姆接触层、源极和漏极，有源层设置于衬底上，蚀刻保护层与欧姆接触层同层设置，且蚀刻保护层位于有源层的本体部上，欧姆接触层位于有源层的第一导通部以及第二导通部上，源极设置于位于有源层的第一导通部上的欧姆接触层上，漏极设置于位于有源层的第二导通部上的欧姆接触层上。本申请通过在有源层的本体部上设置由绝缘材料形成的蚀刻保护层，避免在后续蚀刻相邻膜层时，有源层的本体部受到损伤，进而提高阵列基板的性能。