[发明专利]提高高电子迁移率晶体管外延片的质量的制备方法在审
| 申请号： | 202111215486.7 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN114220729A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 蒋媛媛;刘旺平 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/335;H01L29/778;C30B25/14;C30B25/16;C30B25/18;C30B29/40;C30B33/02;C30B33/12 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本公开提供了一种提高高电子迁移率晶体管外延片的质量的制备方法，属于半导体器件技术领域。在衬底上依次生长第一AlN层与第二AlN层，第二AlN层的生长温度比第一AlN层的生长温度高100～300℃，释放应力提高质量。生长第二AlN层的过程中，用Ar作为载气生长，促进Al原子的平面移动，提高生长均匀度。对生长第二AlN层过程中形成的AlN膜层，高温条件下H |
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| 搜索关键词： | 提高 电子 迁移率 晶体管 外延 质量 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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