[发明专利]一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构有效
| 申请号： | 202111205072.6 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN113894126B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 刘晓阳;区炜锋 | 申请（专利权）人： | 深圳市墨提斯科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/36 | 分类号： | B08B9/36;B08B15/00;B01D46/62;B01D46/10 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 518131 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于TFT‑LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座和滚轮，所述底座的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮，所述底座上端的一侧固定有连接板，所述连接板远离底座的一侧固定有底部封板，所述底部封板的顶部等距固定有电机安装板，所述底部封板内壁两侧的两个电机安装板的外侧均等距固定有减速箱，所述减速箱远离电机安装板的一侧固定有第三电机，且第三电机的输出端与减速箱的输入端固定，本发明能够对PVD设备上的托盘底部的杂质进行自动清理，从而能够有效地提高产品的良品率，且能够对清除下来的杂质进行有效的收集，并能够自动进行杂质收集装置的更换工作，极大的降低了更换积尘组件对生产效率带来的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 tft lcd pvd 设备 自动 机构 | ||
【主权项】：
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