[发明专利]一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构有效
| 申请号: | 202111205072.6 | 申请日: | 2021-10-15 |
| 公开(公告)号: | CN113894126B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
| 发明(设计)人: | 刘晓阳;区炜锋 | 申请(专利权)人: | 深圳市墨提斯科技有限公司 |
| 主分类号: | B08B9/36 | 分类号: | B08B9/36;B08B15/00;B01D46/62;B01D46/10 |
| 代理公司: | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人: | 段宇 |
| 地址: | 518131 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 tft lcd pvd 设备 自动 机构 | ||
1.一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构,包括底座(1)和滚轮(2),所述底座(1)的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮(2),其特征在于,所述底座(1)上端的一侧固定有连接板(3),所述连接板(3)远离底座(1)的一侧固定有底部封板(4),所述底部封板(4)的顶部等距固定有电机安装板(5),所述底部封板(4)内壁两侧的两个电机安装板(5)的外侧均等距固定有减速箱(6),所述减速箱(6)远离电机安装板(5)的一侧固定有第三电机(7),且第三电机(7)的输出端与减速箱(6)的输入端固定,所述减速箱(6)的输出端固定有毛刷(8),所述毛刷(8)远离减速箱(6)的一端固定有连接套(9),六个所述连接套(9)远离毛刷(8)的一端均通过轴承与位于底部封板(4)中部的电机安装板(5)转动连接,所述底部封板(4)远离底座(1)的一侧以及连接板(3)靠近底座(1)的一侧均固定有光电传感器(10),且两个光电传感器(10)的位置交错设置,所述底部封板(4)呈上大下小的形状设置,所述底部封板(4)的底部对称固定有连接管(11),两个所述连接管(11)的底部固定有H型支撑板(12),所述H型支撑板(12)的底部滑动连接有移动框(13),所述移动框(13)的两侧对称套接有积尘组件(14),所述底座(1)下端靠近移动框(13)的一侧滑动连接有移动支架(15),所述移动支架(15)远离底座(1)的一端固定有底部集气盒(16),且底部集气盒(16)与积尘组件(14)相配合,所述移动支架(15)远离底座(1)的一侧固定有气泵(17),所述气泵(17)的进气端与底部集气盒(16)的内壁相连通,所述底座(1)的下端靠近移动支架(15)的一侧固定有升降压紧机构(18),所述升降压紧机构(18)用于将底部集气盒(16)压紧在积尘组件(14)的底部进行灰尘收集工作,所述H型支撑板(12)的顶部固定有平移机构(19),所述平移机构(19)用于驱动移动框(13)移动进行积尘组件(14)的更换工作,所述气泵(17)的出气端设置有末端过滤机构(20),用于对气泵(17)排出的气体进行进一步的过滤;
所述升降压紧机构(18)包括第一固定块(181)、转杆(182)、驱动斜盘(183)、被动轮(184)、蜗轮(185)、第二固定块(186)、蜗杆(187)和第一电机(188),所述底座(1)下端靠近移动支架(15)的一侧固定有第一固定块(181),所述第一固定块(181)的中部通过轴承转动连接有转杆(182),所述转杆(182)的底部通过轴承与底座(1)转动连接,所述转杆(182)的中部固定有驱动斜盘(183),所述移动支架(15)靠近驱动斜盘(183)的一侧通过轴销对称转动连接有被动轮(184),两个所述被动轮(184)均与驱动斜盘(183)的外壁滚动连接,所述转杆(182)的顶部固定有蜗轮(185),所述底座(1)的下端靠近蜗轮(185)的一侧位于蜗轮(185)的上方对称固定有第二固定块(186),两个所述第二固定块(186)之间通过轴承转动连接有蜗杆(187),所述蜗杆(187)与蜗轮(185)啮合连接,所述底座(1)的下端靠近蜗杆(187)的一侧固定有第一电机(188),所述蜗杆(187)靠近第一电机(188)的一端与第一电机(188)的输出端固定。
2.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构,其特征在于,所述积尘组件(14)包括收集筒(141)、过滤网(142)和卡止檐(143),所述移动框(13)的两侧对称套接有收集筒(141),所述收集筒(141)内壁的下端固定有过滤网(142),所述收集筒(141)上端的外壁固定有卡止檐(143),所述卡止檐(143)与移动框(13)相配合,且连接管(11)的底部贯穿H型支撑板(12)与下方的一个收集筒(141)的内壁相连通。
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