[发明专利]一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构

说明书

本发明提供一种用于TFT‑LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座和滚轮，所述底座的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮，所述底座上端的一侧固定有连接板，所述连接板远离底座的一侧固定有底部封板，所述底部封板的顶部等距固定有电机安装板，所述底部封板内壁两侧的两个电机安装板的外侧均等距固定有减速箱，所述减速箱远离电机安装板的一侧固定有第三电机，且第三电机的输出端与减速箱的输入端固定，本发明能够对PVD设备上的托盘底部的杂质进行自动清理，从而能够有效地提高产品的良品率，且能够对清除下来的杂质进行有效的收集，并能够自动进行杂质收集装置的更换工作，极大的降低了更换积尘组件对生产效率带来的影响。

技术领域

本发明涉及PVD智能设备技术领域，尤其涉及一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构。

背景技术

TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示）的PVD(物理气相沉积:Physical VaporDeposition)制程是指在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜技术。PVD设备则是通过将来料（玻璃）自动放置在轨道TRAY（托盘）上，对来料（玻璃）进行表面镀膜技术的自动化设备。在该制程中，用于放置来料的轨道TRAY是重复循环使用的，日积月累在TRAY的底部轨道上会吸附一些金属颗粒和异物，对TFT-LCD产品有严重的品质隐患，而现有的PVD设备并没有设置相应的用于清扫托盘底部异物的机构，从而容易造成产品加工良品率下降的现象发生。

因此，有必要提供一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构解决上述技术问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明是提供一种能够自动对PVD设备上的TRAY托盘底部的杂质进行清理、从而能够提高产品良率的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构。

本发明提供的一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座和滚轮，所述底座的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮，所述底座上端的一侧固定有连接板，所述连接板远离底座的一侧固定有底部封板，所述底部封板的顶部等距固定有电机安装板，所述底部封板内壁两侧的两个电机安装板的外侧均等距固定有减速箱，所述减速箱远离电机安装板的一侧固定有第三电机，且第三电机的输出端与减速箱的输入端固定，所述减速箱的输出端固定有毛刷，所述毛刷远离减速箱的一端固定有连接套，六个所述连接套远离毛刷的一端均通过轴承与位于底部封板中部的电机安装板转动连接，所述底部封板远离底座的一侧以及连接板靠近底座的一侧均固定有光电传感器，且两个光电传感器的位置交错设置，所述底部封板呈上大下小的形状设置，所述底部封板的底部对称固定有连接管，两个所述连接管的底部固定有H型支撑板，所述H型支撑板的底部滑动连接有移动框，所述移动框的两侧对称套接有积尘组件，所述底座下端靠近移动框的一侧滑动连接有移动支架，所述移动支架远离底座的一端固定有底部集气盒，且底部集气盒与积尘组件相配合，所述移动支架远离底座的一侧固定有气泵，所述气泵的进气端与底部集气盒的内壁相连通，所述底座的下端靠近移动支架的一侧固定有升降压紧机构，所述升降压紧机构用于将底部集气盒压紧在积尘组件的底部进行灰尘收集工作，所述H型支撑板的顶部固定有平移机构，所述平移机构用于驱动移动框移动进行积尘组件的更换工作，所述气泵的出气端设置有末端过滤机构，用于对气泵排出的气体进行进一步的过滤。

优选的，所述积尘组件包括收集筒、过滤网和卡止檐，所述移动框的两侧对称套接有收集筒，所述收集筒内壁的下端固定有过滤网，所述收集筒上端的外壁固定有卡止檐，所述卡止檐与移动框相配合，且连接管的底部贯穿H型支撑板与下方的一个收集筒的内壁相连通。