[发明专利]一种金刚石薄膜加工方法及装置

摘要

本发明公开一种金刚石薄膜加工方法及装置，在工件横向两侧布置相互平行的热丝，所述热丝进行加热以在工件的待加工区域沉积加工出金刚石薄膜，在沉积加工过程中，所述工件沿竖向进行自转，并且所述热丝沿高度方向进行往复运动或者所述工件沿高度方向进行往复运动。本发明能使得热丝产生的热量均匀覆盖工件的待加工区域，提高工件的受热均匀，确保工件的待加工区域的各个部位都能均匀被热丝加热作用，保障金刚石薄膜的生成质量，提高薄膜厚度均匀性、薄膜与基体的结合力，能在异形工件或大尺寸工件的表面上制备出高耐磨性的金刚石薄膜，大幅提高工件的使用寿命。