[发明专利]一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统

摘要

本发明公开了一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，属于退火炉技术领域，包括数据采集模块、数据处理模块、调控模块和监控平台；数据采集模块用于采集退火炉工作时的输送信息、运行信息和预热信息；输送信息包含输送冷风的流量数据和流速数据；运行信息包含监测区域的温度数据和气流数据；预热信息包含预热器的预热数据；数据处理模块用于对采集的输送信息、运行信息和预热信息分别进行预处理和计算，得到输送处理集、运行处理集和预热处理集；对输送处理集、运行处理集和预热处理集进行综合分析，得到运行匹配集；本发明用于解决现有方案中退火炉的运行效果不佳的技术问题。