[发明专利]一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统

权利要求书

1.一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，包括数据处理模块和调控模块；

数据处理模块用于对采集的输送信息、运行信息和预热信息分别进行预处理和计算，得到输送处理集、运行处理集和预热处理集；对输送处理集、运行处理集和预热处理集进行综合分析，得到包含第一匹配信号和第二匹配信号的运行匹配集；

调控模块用于根据运行匹配集对退火炉的运行进行调控，包括：对运行匹配集进行分析，若运行匹配集中包含第一匹配信号，则判定退火炉的运行资源过多，根据第一匹配信号降低冷风的输送量，以及增加炉腔内风机的运行强度来提高风力，直至第一运迁值属于预设的运迁范围；

若运行匹配集中包含第二匹配信号，则判定退火炉的运行效率过低，根据第二匹配信号增加冷风的输送量，以及减少炉腔内风机的运行强度来降低风力，直至第二运迁值属于预设的运迁范围，实现退火炉运行的动态调控。

2.根据权利要求1所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，还包括数据采集模块和监控平台；数据采集模块用于采集退火炉工作时的输送信息、运行信息和预热信息；输送信息包含输送冷风的流量数据和流速数据；运行信息包含监测区域的温度数据和气流数据；预热信息包含预热器的预热数据。

3.根据权利要求2所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，监测区域根据退火炉的炉腔进行划分，包括：获取炉腔的若干个内表面并进行编号，依次将编号的内表面的中点设为监测点，通过若干个监测点获取实时温度以及实时气流。

4.根据权利要求3所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，获取输送信息中输送冷风的流量数据和流速数据，分别对实时流量和实时流速进行取值和标记，并计算获取输送系数。

5.根据权利要求4所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，获取运行信息中监测区域的温度数据和气流数据，分别对实时温度、实时气压和实时气流量进行取值和标记，并计算获取运行系数。

6.根据权利要求5所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，获取预热信息中预热器的预热数据，分别对预热气流量和实时预热量进行取值和标记，并计算获取预热系数。

7.根据权利要求6所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，基于输送系数、运行系数和预热系数获取运迁值，将运迁值与预设的运迁范围进行匹配，得到包含第一匹配信号和第一运迁值以及第二匹配信号和第二运迁值的运行匹配集。

8.根据权利要求7所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，通过监控平台对采集的输送信息、运行信息和预热信息中的各项数据进行显示。