[发明专利]MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法有效
| 申请号： | 202111157004.7 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114047625B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 谢会开;王鹏 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;无锡微文半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨璐 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供了一种MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法；其中，MEMS微镜包括基底，镜面，静电吸合装置及驱动装置；镜面悬置于基底上；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于基底上，第二静电电极位于镜面上；驱动装置的一端与基底连接，驱动装置的另一端与镜面连接，驱动装置能够发生弯曲，驱动装置被构造为能够带动镜面相对于基底发生运动；在驱动装置弯曲的状态下，镜面能够朝向第一静电电极运动，并能够通过第二静电电极静电吸合在第一静电电极上。本公开实施例为MEMS微镜提供了一种抗冲击振动的方案，其镜面在不使用的情况下可以通过静电吸合在基底上。 | ||
| 搜索关键词： | mems 微镜 电子设备 使用方法 | ||
【主权项】：
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