[发明专利]MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法

说明书

本公开实施例提供了一种MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法；其中，MEMS微镜包括基底，镜面，静电吸合装置及驱动装置；镜面悬置于基底上；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于基底上，第二静电电极位于镜面上；驱动装置的一端与基底连接，驱动装置的另一端与镜面连接，驱动装置能够发生弯曲，驱动装置被构造为能够带动镜面相对于基底发生运动；在驱动装置弯曲的状态下，镜面能够朝向第一静电电极运动，并能够通过第二静电电极静电吸合在第一静电电极上。本公开实施例为MEMS微镜提供了一种抗冲击振动的方案，其镜面在不使用的情况下可以通过静电吸合在基底上。

技术领域

本公开实施例涉及电子产品技术领域，更具体地，本公开涉及一种MEMS微镜以及电子设备。

背景技术

MEMS微镜中的镜面通常是通过驱动器悬置设置的，并且使镜面发生相对运动的驱动方式目前通常是电热驱动。然而，电热驱动器本身较为脆弱，其通常难以承受较大的外界冲击或者震动，这就无法为镜面提供较大的支撑刚度，这样，就会导致MEMS微镜的整体强度不足、抗冲击力较差。

而在实际应用中，在MEMS微镜运输、安装或者某些使用场景下，不可避免的会受到较大的冲击力或者震动。鉴于此，需要提供一种新的技术方案，以解决上述技术问题。

发明内容

本公开的目的是提供一种MEMS微镜以及电子设备的新的技术方案。

为了解决上述至少一个技术问题，第一方面，本公开提供了一种MEMS微镜。所述MEMS微镜包括：

基底；

镜面，所述镜面悬置于所述基底上；

静电吸合装置，所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，所述第二静电电极位于所述镜面上；

驱动装置，所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置的另一端与所述镜面连接，所述驱动装置能够发生弯曲，所述驱动装置被构造为能够带动所述镜面相对于所述基底发生运动；

在所述驱动装置弯曲的状态下，所述镜面能够朝向所述第一静电电极运动，并能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上。

可选地，所述基底设置有容置腔，所述第一静电电极设置于所述容置腔内。

可选地，所述基底包括支撑部和底座，所述支撑部设置于所述底座上，所述支撑部上形成有通道，所述底座上形成凸起结构，所述凸起结构位于所述通道内，所述第一静电电极设置于所述凸起结构的表面上。

可选地，所述静电吸合装置包括绝缘介质层，所述绝缘介质层位于所述第一静电电极与所述第二静电电极之间。

可选地，所述镜面包括反射层及支撑层，所述反射层与所述支撑层层叠设置，并且连接在一起，其中，所述反射层为金属材料，所述支撑层为无机非金属材料。

可选地，第二静电电极为所述反射层或支撑层。

可选地，所述驱动装置为多层电热驱动结构或者压电薄膜结构。

可选地，所述驱动装置包括加热元件、第一材料层和第二材料层；

所述第一材料层和所述第二材料层层叠设置，并且连接在一起，所述加热元件位于所述第一材料层和所述第二材料层之间，所述加热元件与所述第一材料层和所述第二材料层中的一个连接，所述第一材料层和所述第二材料层的热膨胀系数不同。

第二方面，本公开还提供了一种电子设备，包括：

设备本体；以及

如上所述的MEMS微镜，所述MEMS微镜设置在所述设备本体上。