[发明专利]MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法

权利要求书

1.一种MEMS微镜，其特征在于：包括

基底；

镜面，所述镜面悬置于所述基底上；

静电吸合装置，所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，所述第二静电电极位于所述镜面上；

驱动装置，所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置的另一端与所述镜面连接，所述驱动装置能够发生弯曲，所述驱动装置被构造为能够带动所述镜面相对于所述基底发生运动；

在所述驱动装置弯曲的状态下，所述镜面能够朝向所述第一静电电极运动，并能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，在MEMS微镜停止工作之后，所述镜面不再处于悬置的状态，由所述基底对所述镜面进行支撑。

2.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其特征在于：所述基底设置有容置腔，所述第一静电电极设置于所述容置腔内。

3.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其特征在于：所述基底包括支撑部和底座，所述支撑部设置于所述底座上，所述支撑部上形成有通道，所述底座上形成凸起结构，所述凸起结构位于所述通道内，所述第一静电电极设置于所述凸起结构的表面上。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的MEMS微镜，其特征在于：所述静电吸合装置包括绝缘介质层，所述绝缘介质层位于所述第一静电电极与所述第二静电电极之间。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的MEMS微镜，其特征在于：所述镜面包括反射层及支撑层，所述反射层与所述支撑层层叠设置，并且连接在一起，其中，所述反射层为金属材料，所述支撑层为无机非金属材料。

6.根据权利要求5所述的MEMS微镜，其特征在于：第二静电电极为所述反射层或支撑层。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的MEMS微镜，其特征在于：所述驱动装置为多层电热驱动结构或者压电薄膜结构。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的MEMS微镜，其特征在于：所述驱动装置包括加热元件、第一材料层和第二材料层；

所述第一材料层和所述第二材料层层叠设置，并且连接在一起，所述加热元件位于所述第一材料层和所述第二材料层之间，所述加热元件与所述第一材料层和所述第二材料层中的一个连接，所述第一材料层和所述第二材料层的热膨胀系数不同。

9.一种电子设备，其特征在于，包括

设备本体；以及

如权利要求1-8任一项所述的MEMS微镜，所述MEMS微镜设置在所述设备本体上。

10.一种如权利要求1-8任一项所述MEMS微镜的使用方法，其特征在于：包括：

在正常工作状态下，所述镜面能够在所述驱动装置的驱动作用下相对于所述基底发生垂直移动和/或转动；

在MEMS微镜停止工作后，所述驱动装置能够带动所述镜面靠近所述第一静电电极，对所述静电吸合装置施加静电驱动电压之后，所述镜面上的所述第二静电电极与所述基底上的第一静电电极之间产生静电吸引力，以使所述镜面能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，所述驱动装置停止工作，所述镜面始终与所述基底处于静电吸合状态；

在MEMS微镜恢复正常工作状态后，撤去为所述静电吸合装置施加的电压，所述镜面恢复到可运动的状态，所述镜面能够在所述驱动装置的驱动作用下相对于所述基底发生垂直移动和/或转动。