[发明专利]晶圆校正装置及晶圆校正方法

摘要

本发明公开了一种晶圆校正装置及晶圆校正方法，晶圆校正装置包括：晶圆承载台，用于放置晶圆；激光摄像头，设置于晶圆承载台的正面，至少用于发射激光信号；激光接收器，设置于机械手臂的背面，用于接收激光摄像头发射的激光信号；机械手臂控制器，至少与机械手臂及激光接收器相连接，用于驱动机械手臂抓取及传送晶圆，并在激光接收器未接收到激光信号时，驱动机械手臂按预设路径移动，直至激光接收器接收到激光信号。快速确定晶圆在机械手臂上的实时位置，并对晶圆实际位置与目标位置的偏差快速补偿，驱动机械手臂调整晶圆处于目标位置上；同时快速确定机械手臂与晶圆承载台的相对位置，以将晶圆准确无误的放置于晶圆承载台上。