[发明专利]加工装置和加工装置的使用方法在审
| 申请号： | 202111126920.4 | 申请日： | 2021-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN114378961A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 大森崇史 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/02;H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 杨俊波;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供加工装置和加工装置的使用方法，该加工装置能够防止信息的输入错误。该加工装置对被加工物进行加工，其中，该加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；控制部；以及读取部，其读取编码，该编码包含与指定针对加工装置的操作的多个操作指令对应的信息以及与执行操作指令所指定的操作的顺序对应的信息，控制部根据读取部所读取的编码而对加工装置进行控制，以便按照该顺序执行多个操作指令所指定的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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