[发明专利]一种覆铜陶瓷基板专用铜片加工的方法在审

专利信息
申请号: 202111118796.7 申请日: 2021-09-24
公开(公告)号: CN113832469A 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 李炎;贺贤汉;陆玉龙;蔡俊;董明锋;马敬伟 申请(专利权)人: 江苏富乐德半导体科技有限公司
主分类号: C23G1/10 分类号: C23G1/10;B08B3/12;C23C22/63;C23C22/78
代理公司: 北京华际知识产权代理有限公司 11676 代理人: 张强
地址: 224200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,包括如下步骤:酸性除油,然后微蚀胶涂敷于铜片表面,光照固化,5‑10min后揭去铜片表面胶块,酸洗;将铜片水平浸入去离子水超声波清洗,热风烘干;将干燥后的铜片垂直浸入去离子水中超声波清洗,然后进行兆声波清洗,热风烘干;对铜片使用高压雾化喷涂机将碱法氧化药液均匀的喷涂至铜片表面,控制温度和膜厚,铜片氧化膜达到预定膜厚后,冷风去除铜片表面液体,抽滤得到产品,本发明采用微蚀胶对铜片粗化处理,铜片表面粗化均匀,采用水平和垂直两个方向上的超声波清洗,之后又进行兆声波清洗,清洗效果好,后续的氧化反应均匀性高,最终氧化良率高。
搜索关键词: 一种 陶瓷 专用 铜片 加工 方法
【主权项】:
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