[发明专利]一种覆铜陶瓷基板专用铜片加工的方法在审
| 申请号: | 202111118796.7 | 申请日: | 2021-09-24 |
| 公开(公告)号: | CN113832469A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
| 发明(设计)人: | 李炎;贺贤汉;陆玉龙;蔡俊;董明锋;马敬伟 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐德半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | C23G1/10 | 分类号: | C23G1/10;B08B3/12;C23C22/63;C23C22/78 |
| 代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 张强 |
| 地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 陶瓷 专用 铜片 加工 方法 | ||
1.一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:使用酸性除油剂去除铜片表面油脂,对铜片表面进行粗化处理,使用酸性溶剂去除铜片表面氧化层;
S2:将铜片水平浸入去离子水5-10min,将铜片缓慢拉离水面,90-120℃下烘干;
S3:将干燥后的铜片垂直浸入离子水35-45℃下超声波清洗3-6min,25-35℃下超声波清洗10-20min,将铜片缓慢拉离水面,90-120℃下烘干;
S4:对铜片使用碱法氧化药液进行氧化,除杂,烘干得到产品。
2.根据权利要求1所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于,所述碱法氧化药液按浓度百分比包括如下组分:NaClO2 20-40%、NaOH 10-20%、水40-70%。
3.根据权利要求1所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于:所述超声波清洗的超声波频率为30-50kHz,所述酸性除油剂为浓度为10-20%的双氧水,所述酸性溶剂为浓度为3-5%的硫酸溶液。
4.根据权利要求1所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于:所述粗化处理的操作是将铜片浸入微蚀药水,浸泡15-25S。
5.根据权利要求1所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于,S4步骤中,铜片氧化具体步骤为:将铜片固定于碱法氧化药液槽,使用碱法氧化药水70-90℃下浸泡5-10min,氧化铜膜厚控制在0.4-0.8mg/m2,对铜片进行多级溢流水洗,每级处理30-60S,每级溢流量控制在2-8L/min。
6.根据权利要求1所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于:所述粗化处理步骤为使用涂胶机将微蚀胶均匀涂敷于铜片表面,光照使微蚀胶固化,5-10min后揭去铜片表面胶块。
7.根据权利要求6所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于,所述微蚀胶包括以下重量百分比包括组分:聚酯型聚氨酯丙烯酸酯40-70%、四氢呋喃丙烯酸酯10-20%、微蚀药水10-15%、光引发剂1-4%、聚酰胺蜡1-4%、硅烷偶联剂0.5-2%;所述光引发剂选自2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯、2-羟基-甲基苯基丙烷-1-酮、4-甲基二丙甲酮中的任意一种或多种的混合物;所述微蚀胶的制备步骤是将微蚀胶的原料混合均匀,真空抽泡,即得微蚀胶。
8.根据权利要求4-7中任意一项所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于:所述微蚀药水为含2-4%硫酸的Na2S2O8溶液,所述Na2S2O8溶液的浓度为40-80g/L。
9.根据权利要求1所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于:S3步骤中,超声清洗后进行兆声波清洗,所述兆声波频率为0.84-0.86MHz。
10.根据权利要求1所述的一种覆铜陶瓷基板专用铜片的加工方法,其特征在于,S4步骤中,铜片氧化具体步骤为将铜片置于碱法氧化槽,采用高压雾化喷涂机将碱法氧化药液均匀的雾化喷涂至铜片表面,控制氧化槽温度在70-90℃,控制氧化铜膜厚在0.4-0.8mg/cm2,达到预定膜厚,停止喷淋和加热,采用0-10℃冷风去除铜片表面药液,同时对碱法氧化槽进行抽滤,高压雾化喷涂机的喷头进液速率为2-8ml/min。
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